高精密對位平臺

公司源自臺灣技術(shù)團(tuán)隊(duì)研發(fā)的只有品牌"YARAK"高精密對位平臺在高端設(shè)備上已得到廣泛的推薦和使用,。產(chǎn)品規(guī)格涵蓋150mm,、160mm、180mm,、200mm,、250mm、350mm,、450mm,、550mm，更大盤面尺寸我們可按要求定制,。

XXY對準(zhǔn)平臺,，也稱為XYθ（Theta）平臺或UVW對位平臺，專為高精度對位設(shè)備而設(shè)計(jì),，它在XY平面中移動(dòng)并圍繞XY平面的中心旋轉(zhuǎn),。我們提供常規(guī)的8種型號的XXY對位平臺，小尺寸的重復(fù)定位精度為2μm,，大規(guī)格的為3μm,，這些型號的線性行程為±5 mm，大尺寸的可達(dá)±10mm,。另外,，XXY平臺可以圍繞XY平面的中心旋轉(zhuǎn)到±3°，水平負(fù)載從15KG到100KG,。

XXY對位平臺特點(diǎn)：

• 尺寸結(jié)構(gòu)多樣化,， XXY對位平臺現(xiàn)有空心及實(shí)心兩種設(shè)計(jì)，可滿足用戶不同的設(shè)計(jì)需求

• 薄型設(shè)計(jì)節(jié)省空間-采用Mini stage XYθ模塊化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無中座的薄且輕的機(jī)構(gòu)

• 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性,、高精度

• 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用

• 在各運(yùn)動(dòng)軌道加入潤滑系統(tǒng),，提高對位平臺使用的壽命及精度

• 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能

• 高精度,、高剛性、穩(wěn)定性保障,，實(shí)行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量

• 可水平或倒置安裝

XXY對位平臺（uvw對位平臺） ,、視覺對位平臺廣泛應(yīng)用于光學(xué)測量儀器，晶圓對準(zhǔn),，LCD面板檢測,，半導(dǎo)體處理，激光切割和鉆孔,，復(fù)合機(jī)等領(lǐng)域,。